Spin coating
Vải tráng là một thủ tục được sử dụng để chứa các màng mỏng đồng nhất cho các chất nền phẳng. Thông thường, một số lượng nhỏ chất liệu phủ được áp dụng vào trung tâm của chất nền, hoặc là quay với tốc độ thấp hoặc không quay ở tất cả. Chất nền sau đó được quay với tốc độ cao để truyền vật liệu lớp phủ bằng lực ly tâm. Một máy được sử dụng để phủ spin được gọi là máy lót spin, hoặc chỉ đơn giản là quay.
Xoay vòng được tiếp tục trong khi chất lỏng quay ra khỏi các cạnh của bề mặt, cho đến khi đạt được độ dày mong muốn của màng. Dung môi được áp dụng thường dễ bay hơi và đồng thời bay hơi. Vì vậy, càng cao tốc độ góc của quay, mỏng hơn bộ phim. Độ dày của màng cũng phụ thuộc vào độ nhớt và nồng độ của dung dịch và dung môi. [1] Một hiện tượng nghiên cứu rộng rãi trong lớp phủ spin là hiệu ứng vòng tròn cà phê.
Lớp phủ spin được sử dụng rộng rãi trong việc chế tạo các lớp oxit chức năng trên kính hoặc các chất pha lê đơn bằng cách sử dụng các tiền chất của sol-gel, nơi nó có thể được sử dụng để tạo ra những màng mỏng đồng nhất có độ dày nano. [2] Nó được sử dụng rất nhiều trong quá trình photolithography, để giữ các lớp photoresist dày khoảng 1 micrometr. Photoresist thường được kéo từ 20 đến 80 vòng / giây trong 30 đến 60 giây.